产品详情
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详细信息
中图仪器研发生产的SuperViewW1
产品型号:SuperView W1系列
产品名称:光学3D表面轮廓仪影像系统:1024×1024
光学ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可选)
干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)
XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动、手动同时具备,均为光栅闭环反馈
Z轴行程:100mm,电动
Z向扫描范围:10mm
Z向分辨率:0.1nm
可测样品反射率:0.05%-100
水平调整:±5°手动
粗糙度RMS重复性:0.005nm
台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ
主要特点:非接触式无损检测,一键分析、快速高效
生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司
SuperViewW1